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价格始终是居高不下。
对于别人来说,要绕开专利壁垒,重新开发新的光源和镜头,简直是难以上天,可是对于秦元清而言,简直是太简单不过了。
光波那么多种,euv光源波长,制程节点7~3nm。完全可以选择其他光源,波长进一步缩短,制程节点缩(本章未完,请翻页)
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